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智能烘膠臺技術文章

發布日期：2022-05-30 瀏覽次數：391

-2B型烘膠臺在半導體工藝制備過程中，主要用于光刻工藝中的前烘和堅膜，具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點；可長時間連續穩定工作，可廣泛應用于生產。
烘膠板采用不銹鋼材料制造。
烘膠板規格: ≥F200mm
烘烤溫度:  室溫～200℃
控溫精度:  ±1℃
控溫形式:  智能溫控儀PID調節，自動測溫，控溫。
輸入電源：AC 220V/240V  5OHz
整機功率：600W
整機重量：10Kg

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